多光谱共焦测量的原理、方法与发展现状.pdf
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多光谱共焦测量的原理、方法与发展现状
摘要：在工业测量领域拥有很好的应用前景的多光谱共焦测量技术有测量速度快、测量精度高、
非接触测量等优点。为了使多光谱共焦测量技术得到更好的发展，本文分析了其测量原理，而且列举
了多光谱共焦测量技术在精密测量领域的应用方法，比较了国内多光谱共焦测量技术的发展现状并展
望了多光谱共焦测量技术的应用和发展前景。
关键词：光谱共焦；位移传感器；色散；光学设计
Abstract：Themultispectralconfocalmeasurementtechnology,whichhasago
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