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一种基于超表面分光的用于三维面型测量的线形光谱共焦系统.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114877825 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210528919.2 (22)申请日 2022.05.16 (71)申请人 浙江大学 地址 310058 浙江
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