新型传感技术及应用 课件 第五部分：典型传感器-谐振式传感器 .pptx
新型传感技术及应用
第五部分：典型传感器（7）–谐振式传感器;主要内容;第五部分思考题（7）
1.讨论右图所示的质量流量传感器实现智能化的基本原理。
2.右下图的压力敏感结构，有法向加速度时会产生对压力测量的影响；是否可以依此结构进行改进设计，实现同时测量压力和加速度？若可以，给出敏感结构原理示意图，并说明设计思路。
发表在MOOC讨论区里;模拟式传感器的拓扑结构;谐振式传感器不仅可测频率，还可以测量幅值、相位;5.7.1谐振式传感器的基础理论
5.7.2谐振弦式压力传感器
5.7.3谐振膜式压力传感器
5.7.4谐振筒式压力传感器
5.7.5谐振式直接质量流量传感器
5.7.6硅微结构谐振式传感器;1.基本结构;2.闭环系统的实现条件;5.7.1谐振式传感器的基础理论;3.谐振子的机械品质因数;5.7.1谐振式传感器的基础理论
5.7.2谐振弦式压力传感器
5.7.3谐振膜式压力传感器
5.7.4谐振筒式压力传感器
5.7.5谐振式直接质量流量传感器
5.7.6硅微结构谐振式传感器;5.7.2谐振弦式压力传感器;5.7.1谐振式传感器的基础理论
5.7.2谐振弦式压力传感器
5.7.3谐振膜式压力传感器
5.7.4谐振筒式压力传感器
5.7.5谐振式直接质量流量传感器
5.7.6硅微结构谐振式传感器;敏感单元（圆平膜片）
激励单元（电磁线圈）
拾振单元（应变片）;5.7.3谐振膜式压力传感器;5.7.1谐振式传感器的基础理论
5.7.2谐振弦式压力传感器
5.7.3谐振膜式压力传感器
5.7.4谐振筒式压力传感器
5.7.5谐振式直接质量流量传感器
5.7.6硅微结构谐振式传感器;电磁激励、拾振方案;5.7.1谐振式传感器的基础理论
5.7.2谐振弦式压力传感器
5.7.3谐振膜式压力传感器
5.7.4谐振筒式压力传感器
5.7.5谐振式直接质量流量传感器
5.7.6硅微结构谐振式传感器;基本原理：科里奥利效应(CoriolisEffect)与谐振
测量参数：质量流量、密度
应用领域：石油化工、造纸、机场地面测试系统
精度：0.1％
国内：总体性能达到国外产品先进水平;5.7.5谐振式直接质量流量传感器;;测量管弹性系统等效刚度;5.7.5谐振式直接质量流量传感器;5.7.5谐振式直接质量流量传感器;5.7.5谐振式直接质量流量传感器;5.7.1谐???式传感器的基础理论
5.7.2谐振弦式压力传感器
5.7.3谐振膜式压力传感器
5.7.4谐振筒式压力传感器
5.7.5谐振式直接质量流量传感器
5.7.6硅微结构谐振式传感器;5.7.6硅微结构谐振式传感器;—英国DRUCK公司的RPT;—日本横河与重庆川仪的EJA;5.7.6硅微结构谐振式传感器;5.7.6硅微结构谐振式传感器;5.7.6硅微结构谐振式传感器;5.7.6硅微结构谐振式传感器;5.7.6硅微结构谐振式传感器;5.7.6硅微结构谐振式传感器;5.7.6硅微结构谐振式传感器;37