半导体行业污染物排放标准（二次征求意见）编制说明.pdf
上海市《半导体行业污染物排放标准》
编制说明
二（次征求意见稿）
上海市环境学研究院
上海市集成电路行业协会
二O二二年九月
目录
一、项目背景1
（-）任务来源1
（二）主要工作过程1
二、行业概况2
（一）行业总体发展概况2
（二）行业技术发展情况4
1.芯片制造业4
2.芯片封装业6
三（）行业发展规划与主要任务7
三、标准修订的必要性8
（一）国家与上海市相关政策和管理要求8
（二）半导体行业的主要环境问题9
三（）现行环保标准存在的问题10
四、标准修订的原则及技术路线10
（一）标准修匚的原则10
（二）标准修匚的技术路线11
五、国内外相关标准情况13
（一）国内半导体行业相关标准13
1.国家电子工业污染物排放标准13
2.北京电子工业大气污染物综合排放标准14
3,江苏省半导体行业标准16
4.天津工业企业挥发性有机物排放控制标准18
（二）国外和地区半导体行业相关标准19
1,美国半导体行业空气污染物排放标准19
2.美国半导体行业废水污染物排放标准20
3,德国半导体行业水污染物排放标准21
4.世界银行污染预防和削减手册的相关标准22
5.中国台湾半导体行业气污染物排放标准23
6.中国台湾晶圆制造及半导体制造业放流水标准24
三（）上海市综合排放标准25
1.上海市水污染物综合排放标准25
2.上海市大气污染物综合排放标准26
六、半导体行业污染物排放状况及污染防治技术分析28
（一）产污节点28
（二）废水排放及治理32
1.含氟废水32
2.酸碱废水32
3.含氨废水34
4.有机废水34
5.电镀废水35
6.含铜废水35
7.含钻废水37
8.含诧废水38
9.含硼废水39
三（）废气排放及治理39
1.酸碱废气40
2.有机废气41
3.有毒气体42
4.含氟气体42
5.电镀废气43
6.一般废气43
七、标准主要技术内容43
（一）标准适用范围43
（二）标准修匚基本思路44
1.废水标准修订基本思路44
2.废气标准修订基本思路45
三（）术语和定义47
（四）执行时段划分47
（五）污染物控制指标的选择47
1.废水控制因子选择48
2.废气控制因子选择48
（六）水污染物排放限值的确定48
1.一类污染物49
2.二类污染物54
3.综合毒性指标67
七（）有组织大气污染物排放限值的确定68
1.酸性废气68
2.碱性废气74
3.有机废气76
4.颗粒物81
5.氮氧化物82
6.锡及其化合物83
（八）无组织大气污染物排放限值的确定84
八、国内外相关标准对比分析85
（一）水污染物相关排放标准对比分析85