JJF《-高速激光干涉仪校准规范005》.pdf
中华人民共和国国家计量技术规范
JJFXXXX-XXXX
高速激光干涉仪校准规范
CalibrationSpecificationforHigh-speedInterferometer
（征求意见稿）
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
国家市场监督管理总局发布
JJFXXXX-XXXX
高速激光干涉仪校准规范JJFXXXX-XXXX
CalibrationSpecificationforHigh-speed
Interferometer
归口单位：全国几何量长度计量技术委员会
主要起草单位：哈尔滨工业大学
中国计量科学研究院
参加起草单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释
JJFXXXX-XXXX
本规范主要起草人：
参加起草人：
JJFXXXX-XXXX
目录
引言II
1范围1
2引用文件1
3术语和计量单位1
4概述2
5计量特性2
6校准条件3
6.1环境条件3
6.2测量标准及其他设备3
7校准项目和校准方法3
7.1校准项目3
7.2校准方法3
8校准结果表达8
9复校时间间隔9
附录A高速激光干涉仪位移测量动态示值误差测量结果不确定度评定示例10
附录B校准证书内容13
附录C校准证书内页格式14
I
JJFXXXX-XXXX
引言
JJF1071－2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001－2011《通用计量术语
及定义》和JJF1059.1－2012《测量不确定度评定与表示》共同构成制定本校准规范的
基础性系列规范。
本规范为首次发布。
II
JJFXXXX-XXXX
高速激光干涉仪校准规范
1范围
本规范适用于高速激光干涉仪的校准。
2引用文件
本规范引用了下列文件：
JJG739-2005激光干涉仪
JJF1094-2002测量仪器特性评定
JJF1130-2005几何量测量设备校准中的不确定度评定指南
GB/T17163-2008几何量测量器具术语基本术语
JB/T5610-2006激光干涉仪
凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡不注日期的引用文
件，其最新版本（包括所有的修订单）适用于本规范。
3术语和计量单位
本规范采用下列术语、定义和计量单位以及所有JJF1001、GB/T17163中的术语、
定义和计量单位，其中部分术语、定义和计量单位如下：
3.1高速激光干涉仪highspeedinterferometer
以激光波长为测量标准，按多普勒效应产生的多普勒频