微纳光电子器件与光电转换技术.docx

微纳光电子器件与光电转换技术

目录

微纳光电子器件与光电转换技术（1）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

一、内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1光电子器件概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.2光电转换技术背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

二、微纳光电子器件基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.1微纳光电子器件的定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2微纳光电子器件的结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.3微纳光电子器件的材料选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

三、光电转换技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.1光电转换基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.2光电转换效率影响因素．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.3光电转换技术发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

四、关键微纳光电子器件．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

4.1微纳光波导器件．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

4.2微纳激光器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

4.3微纳光电探测器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

五、光电转换技术应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

5.1太阳能电池技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

5.2光伏发电系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

5.3光电子传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

六、微纳光电子器件制造技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

6.1微纳加工技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

6.2光刻技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

6.3化学气相沉积技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

七、光电转换技术挑战与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

7.1技术挑战分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

7.2未来发展趋势预测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

7.3技术创新与突破．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

八、结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

8.1研究总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

8.2未来研究方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

微纳光电子器件与光电转换技术（2）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

一、内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

目的和意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

二、微纳光电子器件的基本概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

微纳光电子器件定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

发展历程与现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55