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一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪.pdf

发布：2023-02-27约6.09千字共6页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213120437 U (45)授权公告日 2021.05.04 (21)申请号 202021643109.4 (22)申请日 2020.08.10 (73)专利权人南京国科半导体有限公司

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