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一种用于干式真空泵的水冷却装置及干式真空泵.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218542542 U (45)授权公告日 2023.02.28 (21)申请号 202222794583.2 (22)申请日 2022.10.21 (73)专利权人 中科九微科技有限公司 地址 63
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