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一种双级磁悬浮透平真空泵冷却装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218542636 U (45)授权公告日 2023.02.28 (21)申请号 202222559379.2 H02K 9/06 (2006.01) (22)申请日 2022.09.2

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