文档详情

一种多弧离子镀蒸发源磁场移动装置.pdf

发布:2023-02-28约5.65千字共7页下载文档
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213142167 U (45)授权公告日 2021.05.07 (21)申请号 202020983453.1 (22)申请日 2020.06.02 (73)专利权人 常州夸克涂层科技有限公司
显示全部
相似文档