MEMS微型线圈及其在磁敏传感器领域的应用.docx

MEMS微型线圈及其在磁敏传感器领域的应用

目录

MEMS微型线圈及其在磁敏传感器领域的应用（1）．．．．．．．．．．．．．．．．4

一、内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

二、MEMS微型线圈技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.1MEMS技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.2微型线圈的原理与结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.3MEMS微型线圈的发展与应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

三、MEMS微型线圈的制造工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.1材料选择与设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.2制造工艺流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.3生产设备与技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

四、MEMS微型线圈的性能特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.1线圈尺寸与精度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.2线圈阻抗与电容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

4.3热稳定性与可靠性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

五、磁敏传感器概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

5.1磁敏传感器的定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

5.2磁敏传感器的工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

5.3磁敏传感器的发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

六、MEMS微型线圈在磁敏传感器中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

6.1用于磁强传感的MEMS微型线圈．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

6.2用于磁场测量的MEMS微型线圈．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

6.3用于磁通量检测的MEMS微型线圈．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

七、应用案例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

7.1案例一．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

7.2案例二．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

7.3案例三．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

八、面临的挑战与未来发展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

8.1当前技术面临的挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

8.2技术创新与发展方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

8.3对未来市场的预测与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

九、结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

9.1研究成果总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

9.2对MEMS微型线圈技术的贡献．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

9.3对磁敏传感器领域的推动作用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

MEMS微型线圈及其在磁敏传感器领域的应用（2）．．．．．．．．．．．．．．．49

一、内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49