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一种MEMS微型电流传感器.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114563611 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210033997.5 (22)申请日 2022.01.12 (71)申请人西北工业大学宁波研究院地址 31

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