文档详情

基板处理装置、半导体装置的制造方法、基板处理方法和存储介质.pdf

发布:2023-05-12约3.33万字共30页下载文档
文本预览下载声明
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823268 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210033777.2 (22)申请日 2022.01.12 (30)优先权数据 2021-005770 202
显示全部
相似文档