基板处理装置及半导体器件的制造方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112823409 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 201880097988.4 (51)Int.Cl.
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