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半导体装置及其制造方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823525 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210202192.9 (22)申请日 2022.03.03 (30)优先权数据 63/200,434 2021

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