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压电异质衬底及其形成方法以及射频声学器件.pdf

发布：2024-04-12约1.39万字共13页下载文档

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117879533A

(43)申请公布日2024.04.12

(21)申请号202410035214.6

(22)申请日2024.01.09

(71)申请人麦斯塔微电子（深圳）有限公司

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