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用以沉积材料于基板上的沉积设备及阴极驱动单元.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213013067 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202020887427.9 (22)申请日 2020.05.22 (30)优先权数据 10-2019-0
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