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辐射装置、用于在基板上沉积材料的沉积设备和用于在基板上沉积材料的方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112840443 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 201880098725.5 格哈德 ·施泰尼格　 (22)申请日 2018.
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