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一种便携式硅片抛光装置.pdf

发布：2023-02-26约8.54千字共9页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213004535 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021091823.7 (22)申请日 2020.06.12 (73)专利权人南京蔚蓝新材料科技有限公司

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