TZGM-半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求.pdf

ICS07.060

CCSJ77

ZGM

中国膜工业协会团体标准

T/ZGMXXXX—XXXX

半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离

子交换树脂产品认证技术要求

Technicalspecificationsofionexchangeresinincation/aniontowerforpretreatment

processofultrapurewaterinsemiconductorsindustry

（征求意见稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国膜工业协会发布

T/ZGMXXXX—XXXX

版权保护文件

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许可请与发布机构获取。

I

T/ZGMXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国膜工业协会提出并归口。

本文件起草单位：江苏苏青水处理工程集团有限公司，宁波争光树脂有限公司，西安蓝晓科技新材

料股份有限公司，蚌埠市天星树脂有限责任公司，鹤壁市海格化工科技有限公司。

本文件主要起草人：

II

T/ZGMXXXX—XXXX

半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术

要求

1范围

本文件规定了半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证的技术要求、试验

方法。

本文件适用于半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T1.3标准化工作导则产品标准编写规定

GB/T1631离子交换树脂产品分类命名及型号

DL/T1856核级阴离子交换树脂中氯型、碳酸型、硫酸型基团含量的测定方法

GB/T5475离子交换树脂取样方法

GB/T5476离子交换树脂预处理方法

GB/T5757离子交换树脂含水量测定方法

GB/T5758离子交换树脂粒度分布测定方法离子交换树脂粒度、有效粒径和均一系数的测定

GB/T5759氢氧型阴离子交换树脂含水量测定方法