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浅析反渗透膜材料在半导体工厂超纯水工艺中的应用 洁净与空调技术ＣＣ＆ＡＣ第１期 浅析反渗透膜材料在半导体工厂超纯水工艺中的应用 北京京东方显示技术有限公司 高鹏 摘要就反渗透膜材料在半导体厂超纯水工艺中的应用原理，使用条件类型，具体的项目实践进行简单介 绍与说明。 关键词纯水工艺；反渗透 ＤｉｓＣｕｓｓｉｏｎ Ｏｎ ＲｅＶｅｒｓｅＯｓｍＯＳｉＳＭｅｍｂｒａｎＣｅＡｐｐ¨ｅｄ ｉｎＵＩｔ陀ｐｕ阳ＷａｔｅｒＰｒｏｄｕｃｔｉＯｎｉｎＩＣＮａｎｕｆａｃｔｕ阳 ＧａｏＰｅｎｇ ＡｂｓｔｒａｃｔＴｈｅ印ｐｌｉｃａｔｉｏｎｐｒｉｎｃｉｐｌｅｓ，ｔ），ｐｅｓｏｆ印ｐｌｉｃａｔｉｏｎｃｏｎｄ“ｉｏｎｓａｎｄａｃｍａｌｐｒｏｊｅｃｔｐｍｃｔｉｃｅｓｗｅｒｅｅｘｐｌａｉｎｅｄｆｏｆｏｓｍｏｓｉｓｍｅｍｂｒａｎｃｅｕｓｃｄｉｎｕｌｔｒａｐｕｒｅｗａｔｅｒｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎｉｎｌＣｍａｎｕｆ．ａｃｍｒｅ．ＫｅｙｗｏｒｄｓＵｌ廿ａｐｕｒｅｗａ把ｒｐｍｃｅｓｓ；ＲｅＶｅｒｓｅｏｓｍｏｓｉｓ ｒｅｖｅｒｓｅ Ｏ概述 反渗透膜材料在水处理中的应用。 １９５９年ＲＥＩＤ和ＢＲＥＴＯＮ首次阐明了醋酸纤维膜具有将水中的盐分分离的理论。从那以后反渗透膜的应用在世界范围内逐渐扩大。当今利用膜分离技术在水处理方面的商业应用已经广泛存在，它渗透在超纯水的制造，锅炉水，饮用水，废水回用，海水淡化各个行业。什么原因造成了膜材料应用在水处理行业中盛行？本文将讨论各种膜材料的类型及其应用特点。 １膜分离的原理 膜的作用就像个过滤芯，只允许水分子通过，而截流水中溶解及悬浮的物质（见图１）。 驱动力使流动的液体分离成：纯净水和浓缩