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硅麦克风及其制作方法和电子设备.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112566006 B (45)授权公告日 2021.05.04 (21)申请号 202110190866.3 B81C 1/00 (2006.01)

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