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光刻用膜形成材料、光刻用膜形成用组合物、光刻用下层膜和图案形成方法.pdf

发布：2023-06-10约5.9万字共42页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112996839 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 201980074610.7 (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事

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