芯片基板及其制作方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112993138 B
(45)授权公告日 2022.02.25
(21)申请号 202011140930.9 H01L 33/44 (2010.01)
(22)申请日
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