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微机电系统的麦克风结构.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112995860 B (45)授权公告日 2022.04.19 (21)申请号 202010294456.9 (51)Int.Cl.

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