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微机电麦克风结构与其制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113371667 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202010770917.5 H04R 31/00 (2006.01) (22)申请日 2

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