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微电子器件和用于制造这样的器件的方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112992894 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202011398976.0 (22)申请日 2020.12.02 (30)优先权数据 1913605

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