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成膜装置、使用其的成膜方法及电子器件的制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113005403 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202011503085.7 H01L 27/32 (2006.01)

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