文档详情

蒸镀装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法.pdf

发布：2023-05-10约1.86万字共20页下载文档

文本预览下载声明

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574811 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111365775.5 H01L 51/56 (2006.01) (22)申请日 2021.11.

显示全部

相似文档

蒸镀装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574812 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111365912.5 H01L 51/56 (2006.01) (22)申请日 2021.11.
2023-05-09 约2.09万字 22页立即下载
成膜装置、使用其的成膜方法及电子器件的制造方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112813388 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011250561.9 C23C 14/34 (2006.01)
2023-06-05 约1.82万字 15页立即下载
成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113005397 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202011483391.9 (51)Int.Cl .
2023-06-08 约1.89万字 16页立即下载
成膜装置、使用其的成膜方法及电子器件的制造方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113005403 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202011503085.7 H01L 27/32 (2006.01)
2023-06-10 约2.31万字 22页立即下载
成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113005398 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202011507005.5 H10K 71/16 (2023.01)
2023-06-10 约2.23万字 20页立即下载
搬送装置、成膜方法、电子器件的制造方法以及成膜装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574813 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111373493.X (22)申请日 2021.11.19 (30)优先权数据
2023-05-06 约1.57万字 19页立即下载
搬送装置、成膜方法、电子器件的制造方法以及成膜装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574814 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111382277.1 (22)申请日 2021.11.22 (30)优先权数据 2020-198685 202
2023-05-09 约1.42万字 17页立即下载
对准及成膜装置、对准及成膜方法、电子器件的制造方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113005419 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202011483557.7 H01L 21/68 (2006.01) (22)申请日 2
2023-06-09 约2.66万字 23页立即下载
对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113005418 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202011483446.6 (51)Int.Cl.
2023-06-08 约2.18万字 18页立即下载
激光装置和电子器件的制造方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113383469 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 201980091041.7 (51)Int.Cl.
2023-06-20 约3.31万字 37页立即下载
电子器件的制造方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551407 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210038281.4 (22)申请日 2022.01.13 (71)申请人日月光半导体制造股份有限公司地址
2023-05-07 约1.25万字 14页立即下载
深结电子器件及其制造方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN109196622A (43)申请公布日 2019.01.11 (21)申请号20178
2024-04-02 约2.09万字 17页立即下载
电子器件及其制造方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112993155 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202010862646.6 H01L 27/22 (2006.01)
2023-06-10 约3.86万字 33页立即下载
电子器件及其制造方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823881 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210192592.6 (22)申请日 2022.03.01 (30)优先权数据 63/166,089 2021
2023-05-12 约2.83万字 40页立即下载
陶瓷电子器件及其制造方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823146 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210099273.0 H01G 13/00 (2013.01) (22)申请日 2022.01.
2023-05-15 约1.54万字 16页立即下载