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AlSb-GeSn-AlSb异质结构固态等离子体PiN二极管的制备方法及其器件.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112993049 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110169122.3 (22)申请日 2021.02.07 (71)申请人中国人民武装警察部队工程大学

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