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一种异质GeSn基硅基深槽保护PiN二极管及其制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112993047 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110168721.3 (22)申请日 2021.02.07 (71)申请人中国人民武装警察部队工程大学

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