一种薄膜热膨胀系数的测定方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112986320 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202110177763.3
(22)申请日 2021.02.07
(71)申请人 复旦大学
地址 20
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