一种基于主成分分析的缺陷形貌等效与寿命评估方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114547928 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210041953.7
(22)申请日 2022.01.14
(71)申请人 北京航空航天大学
地址 10019
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