台阶高度标准样块、制备方法以及白光干涉仪校准方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114543688 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210051175.X
(22)申请日 2022.01.17
(71)申请人 中国电子科技集团公司第十三研究
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