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干涉仪的操作方法.ppt

发布:2019-03-03约1.88千字共12页下载文档
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1.干涉仪的结构图 1.干涉仪的结构图 GAJN (增益):增减照射样品的激光的亮度。 FOCUS(聚焦):调整监视器画面焦点。 VIEW (观察)- ALIGNMENT(调整): 用来切换显示器的画面,从观察条纹时的画面切换到调整样口、基准板之前的倾角时的画面。 SOFT (柔和)- SHARP(鲜明): 用来切换显示器的画面,从适合观察条的通常画面切换到适合观察样品细部构造的画面。 2.干涉仪镜头选用标准 3.干涉仪的操作方法(以F601为例) 1. 确认所接电源的否与使用的电源相符(一般情况显示器为220V,主机为100V). 2. 打开电源开关,确认电源指示灯点亮后,开启显示器、激光器大约需15分钟的稳定时间,待稳定后开始测定作业. 3. 安装合适的被测镜片治具及标准镜头,治具必须安装平稳、固定,若有晃动则很难顺利测量。 3.干涉仪的操作方法(以F601为例) 4. 把控制杆1调到右测(先不放镜片) ALIGNMENT(调整),调整标准镜头调节旋钮,显示器上出现亮点,将亮点移到显示器画面的中央位置,再调节GAIN(增益)和FOCUS(聚焦),使亮点明亮清晰。 5. 放置镜片,为了防止镜片与标准镜头相互碰撞,所以把工作台调到下面,再上下移动工作台(将镜片的球心和标准镜头焦点保持一致)。被测球面是凸面时工作台向标准镜头方向移动,凹面时反向标准镜头移动,利用五个工作台上的微调节器拉直条纹进行判定. 6. 测量完毕,先关闭显示器及显示器电源,最后半闭主体电源,取下标准镜头,放入装置标准镜头的箱子里。 4.干涉仪的注意事项 1. 必须先接好电源后再打开开关。干涉仪需安装在牢固平坦的工作台上,不可受到较大的振动,不能随意进行搬动。 2. 工作台锁紧旋钮在测量时需锁紧,否则会造成振动,测量不稳定,上下移动工作台时注意不要碰到镜头。 3. 不可随意将干涉仪主体及电源进行分解及改造。任何人严禁进行干涉仪及附件包含电 脑、显示器及打印机等部件的内部维护。 4.干涉仪的注意事项 4. 操作人员如发现仪器异常应及时通知相关维护单位,不可擅自调整处理。 干涉仪使用Ⅱ类低功率激光器,辐射输出是很低的,虽然它不会伤害皮肤,但必须保护眼睛,不要直视光束和明亮的反射点。 因为接激光器的电源为高压电(瞬间高电太可达2500V),接电源时需特别注意,要避免接线错误。 5.干涉仪的保养事项 1. 在主体的非润滑面、光学器件和除标准镜头外的各附件表面使用一块软布,擦去指印和灰尘等; 2. 显示器除了日常擦拭外壳及屏幕外,无需其它维护; 3. 对干涉仪主机之螺丝、旋钮、螺杆、导轨用润滑油或防锈油进行擦拭; 4. 检查干涉仪各紧固元件是否有松动,滑丝等现象,保证其牢固可靠; 5.干涉仪的保养事项 5. 点检者按规定定期负责气垫旋钮,气垫水准,恒扭力弹簧,平衡微调旋钮,工作台锁紧旋钮,X\Y轴微调旋钮的检查; 6. 对每项保养工作,予以如实记录TPM点检保养状况。由担当者签名,管理人员作确认。 6.标准镜头的保养 1. 标准镜头属高精密元件,温度变化、振动、冲击都会造成性能上的影响,因此使用时需特别小心,不要弄脏和碰伤标准表面; 2. 上下移动工作台或者标准镜头时,应避免标准镜头被碰伤; 3. 安装标准镜头时,应带上干净的手套或手指套将镜头从箱子里取出旋转装到主机上,取下时应及时放入箱内; 4. 不可将镜片掉入镜头中,操作时应杜绝标准镜头的任何磕碰伤。 6.标准镜头的保养 5. 安装及取下标准镜头时要规范操作; 6. 干涉仪标准镜头由专职人员清洁,其它任何单位或个人禁止对其进行清洁; 7. 清洁都会很容易损坏标准镜头。我们必须正确拿取标准镜头,在不使用时应将它们放回包装盒内,并保护环境清洁,以最大限度减少清洁的次数。 * 显示器开关 电源开关 把柄 上下移动螺母 激光器固定螺母 增益 防震气垫 基准板调整钮 工作台 柔和 – 鲜明 观察 - 调整 增益 聚焦 干涉仪标准镜头选用计算公式: F=R/D (R:镜片R值,D:镜片外径) 例:若已知镜片R值为16,镜片外径为25.8,求出可选用标准镜头? 解:F=16/25.8=0.62 注:若无0.62的镜头时,只能选取比0.62小的镜头. 公式:D=R/F * * *
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