半导体结构的缺陷检测方法、装置、检测设备及存储介质.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114549450 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210148665.1
(22)申请日 2022.02.18
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
地址 4
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