提高Sb2Se相变薄膜的热稳定性和结晶速度的方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112820822 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202011625889.4 C23C 14/54 (
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