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提高Sb2Se相变薄膜的热稳定性和结晶速度的方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112820822 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011625889.4 C23C 14/54 (
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