一种用于抛光头的清洗装置及抛光设备.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114536219 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210206133.9
(22)申请日 2022.02.28
(71)申请人 北京烁科精微电子装备有限公司
地址
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