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三维存储器件中的阶梯结构及用于形成其的方法.pdf

发布：2023-06-18约4.08万字共41页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113345905 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110608548.4 (22)申请日 2020.06.05 (62)分案原申请数据 2020800

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