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一种封闭膜结构MEMS红外光源及其制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113336184 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110623306.2 G01N 21/3504 (2014.01) (22)申请日

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