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一种高精度加速度传感器.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113341176 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110621601.4 (22)申请日 2021.06.03 (71)申请人 苏州奥奈斯传感科技有限公司
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