微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器研究的中期报告.docx

微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器研究的中期报告 本研究旨在设计和制造一款高精度的微光学集成MOEMS加速度传感器，并进行实验验证。目前已经完成了研究的中期阶段，并取得了以下进展： 一、理论基础 通过对微机电系统、光学传感、光互联等学科的学习和研究，建立了基于微光学集成的MOEMS加速度传感器的理论模型，包括外壳设计、MEMS结构设计、光路设计等方面。 二、制备技术 本研究采用光刻、电子束曝光、干法蚀刻等技术，制备了MEMS芯片，并进行了表面微结构处理，使其能够产生较大的加速度响应。其中，最具有挑战性的是MEMS芯片的封装，我们采用了抽真空封装的方法，保证了芯片的长期稳定性和可靠性。 三、测试验证 我们采用实验室自建的测试平台对MOEMS加速度传感器进行性能测试，并与市面上已有的加速度传感器进行对比。实验结果表明，该传感器具有较高的精度和稳定性，满足了要求。 目前，我们正在进一步完善MOEMS加速度传感器的设计和制备技术，以及进行更加完善的实验验证和数据处理。接下来的研究方向包括力学特性的模拟计算和分析、制造工艺的优化、环境抗干扰能力的提升等方面。