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一种改进的具有自动清洁功能的MEMS电场测量装置.pdf

发布：2023-06-03约5.68千字共6页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112816797 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011643058.X (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人北京信息科技大学地址

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