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一种具有自动清洁功能的MEMS电场测量方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112816798 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011643059.4 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人北京信息科技大学地址

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