老化试验测试规范及工作流程.ppt

* 一、DMOS产品信息简介 TO220 TSSOP8 SOT323 平面结构图示 立体实物图示 G D S D S G 二、老化机台简介 HR-1680(RT) HTRB/HTGB SYSTEM 内部电源操作界面 试验箱内部结构 三、老化试验测试规范 1）HTRB试验规范 500H 对已完成168H的同一批样品在相同应力条件下连续进行332小时加速试验， 然后释放应力，测试样品。 168H 对初始样品在规定条件下进行168H加速试验，然后释放应力，测试样品。 1000H 对已完成500H的同一批样品在相同应力条件下连续进行500小时加速试验， 然后释放应力，测试样品。 数据采集点 80 颗 样品数量 Vds=(Vds Rating) ×80% , T=150℃ 测试条件 测试电路连接图 应力施加在 D 端； G、S短接后一起接地。 2）HTGB试验规范 500H 对已完成168H的同一批样品在相同应力条件下连续进行332小时加速试验， 然后释放应力，测试样品。 168H 对初始样品在规定条件下进行168H加速试验，然后释放应力，测试样品。 1000H 对已完成500H的同一批样品在相同应力条件下连续进行500小时加速试验， 然后释放应力，测试样品。 数据采集点 80 颗 样品数量 Vgs=(Vgs Rating) ×80% , T=150℃ 测试条件 测试电路连接图 应力施加在 G 端； D、S短接后一起接地。 四、老化试验测试工作流程 0hrs FT测试 168hrs后FT测试 168hrs老化试验 48hrs老化试验 48hrs后FT测试 选取80颗pass样品 继续500hrs老化试验 Fail 500hrs，试验结束 Fail 168hrs，试验结束 500hrs后FT测试 Fail=2颗 Yes No 1000hrs后FT测试 Fail=2颗 继续1000hrs老化试验 Fail=2颗 Yes No No Pass 1000hrs Yes Fail 1000hrs 试验结束 0hrs FT测试 168hrs老化试验 48hrs老化试验 48hrs后FT测试 选取80颗pass样品 目的：剔除试验开始前已经fail掉的样品 根据申请方的要求，决定是否要进行48hrs老化试验。 1.如果申请方要求进行48hrs，则申请方需要提供足够的 样品数量(80颗，一般为100颗)，此试验需用两块老化 板同时进行实验； 2.如果申请方没有要求进行48hrs，则只需从0hrs FT测试 后的样品中选取80颗Pass的样品，进行168hrs。 48hrs老化目的：剔除样品中发生早期失效的样品 浴盆曲线： I：早期失效 II：中间稳定期 III：后期失效 0hrs FT测试 168hrs老化试验 48hrs老化试验 48hrs后FT测试 选取80颗pass样品 1.选用正确的老化板 2.操作前防静电措施 3..给样品编号 4.样品上板 5.样品入炉 6.施加应力 7.运行漏电流监控系统 8.停止漏电流监控系统 9.撤销应力 10.样品出炉 11.样品卸板 12.送做FT测试 168hrs后FT测试 操作流程 操作流程举例：2N60_F0042A_A100539.1_08# 80颗 TO220 HTRB_168hrs 1.选用正确的老化板 2.操作前防静电措施 3..给样品编号 4.样品上板 5.样品入炉 6.施加应力 7.运行漏电流监控系统 8.停止漏电流监控系统 9.撤销应力 10.样品出炉 11.样品卸板 12.送做FT测试 从老化柜中选取实验所需的老化板 每块老化板上都写有板子的功用类型 1.选用正确的老化板 2.操作前防静电措施 3..给样品编号 4.样品上板 5.样品入炉 6.施加应力 7.运行漏电流监控系统 8.停止漏电流监控系统 9.撤销应力 10.样品出炉 11.样品卸板 12.送做FT测试 1. 防静电腕带要贴紧手腕 2. 防静电腕带另一端夹紧防静电台垫 3. 双手都要佩戴防静电手套 1.选用正确的老化板 2.操作前防静电措施 3..给样品编号 4.样品上板 5.样品入炉 6.施加应力 7.运行漏电流监控系统 8.停止漏电流监控系统 9.撤销应力 10.样品出炉 11.样品卸板 12.送做FT测试 对80个器件按照顺序进行编号； 编号的目的：便于数据整理时，样品和数据能够一一对应。 1.选用正确的老化板 2.操作前防静电措施