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三维存储器及其制作方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112992915 B (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202110236903.X H01L 27/1157 (2017.01) (22)申请日
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