三维存储器及其制作方法.pdf
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112992915 B
(45)授权公告日 2022.01.25
(21)申请号 202110236903.X H01L 27/1157 (2017.01)
(22)申请日
显示全部