光学元件表面缺陷的检测方法、装置及电子设备.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114565552 A
(43)申请公布日 2022.05.31
(21)申请号 202111615387.8
(22)申请日 2021.12.27
(71)申请人 歌尔光学科技有限公
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