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光学元件表面缺陷的检测方法、装置及电子设备.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114565552 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202111615387.8 (22)申请日 2021.12.27 (71)申请人 歌尔光学科技有限公
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