一种光学元件表面缺陷高分辨自动检测装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214150461 U
(45)授权公告日 2021.09.07
(21)申请号 202022296678.2 G02B 21/06 (2006.01)
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