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一种测试重掺硅单晶寿命的测试系统及快速检测方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114563332 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210078584.9 (22)申请日 2022.01.24 (71)申请人杭州中欣晶圆半导体股份有限公司地址

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