垂直布局MSM电容结构及其制作方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114566490 A
(43)申请公布日 2022.05.31
(21)申请号 202210075871.4
(22)申请日 2022.04.15
(71)申请人 中国电子科技集团公司第十研究所
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