文档详情

垂直布局MSM电容结构及其制作方法.pdf

发布:2023-05-07约8.8千字共10页下载文档
文本预览下载声明
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114566490 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210075871.4 (22)申请日 2022.04.15 (71)申请人 中国电子科技集团公司第十研究所 地址
显示全部
相似文档